[StudyDiary17] 반도체 기초ㅣ반도체 공정_박막 증착 공정(Deposition)_PVD, CVD, 주요 인자


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20.03.06~20.03.08선이에요 :) 박막 증착 공정(deposition) 개념부터 여러 방식들의 특징과 박막 증착에 영향을 끼치는 인자까지 알아봅시다박막 증착 공정 (Deposition) 박막 공정 (Thin Film process)사전적 의미의 박막이란 Thin film으로 1마이크로미터(µm) 이하의 얇은 막으로 정의합니다 (1µm 이상을 '후막'이라고 부릅니다)박막 공정이란 웨이퍼 위에 원하는 분자 또는 원자 단위의 물질을 박막의 두께로 입혀, 전기적 특성을 가지도록 하는 일련의 과정입니다(전기적 특성은 전기가 잘 통하는 것 뿐만 아니라, 전기가 통하지 않는 경우도 포함되요)박막 공정을 통해 형성된 박막은 크게 회로들 간 전기적인 신호를.......


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