[StudyDiary14] 반도체 기초ㅣ반도체 공정_프로세스(process)·흐름(flow)_웨이퍼(wafer) 제조 공정, 산화 공정(Oxidation)


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20.02.29.Sat~20.03.01.Fri선이에요 :) 오늘부터 반도체 공정에 대해 포스팅할건데요, 우선 전체적인 반도체 공정 프로세스·흐름을 살펴보면서 시작하겠습니다!전체적인 반도체 제조 공정 프로세스(process) · 흐름(flow)_전공정과 후공정반도체 공정은 크게 전공정과 후공정으로 나눌 수 있어요웨이퍼와 마스크 제작을 시작으로 웨이퍼에 전기적 특성을 부여하기 위해 웨이퍼를 가공하는 FAB 공정 단계까지를 전공정으로 구분합니다FAB 공정 이전에 고순도 단결정 실리콘 웨이퍼를 제조하고 전자 회로 패턴을 설계하여 각 층별로 나누어 마스크를 제작합니다FAB 공정(웨이퍼 가공) 단계에서 산화 (Oxidation), 포토·노광공정 (photo.......


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