[StudyDiary13] 반도체 기초ㅣ트랜지스터 구조 변화_2D Planar/3D FinFET/GAA, 게이트 절연막·전극의 변화_HKMG


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20.02.24.Tues ~ 20.02.27.Thu선이에요 :) 오늘은 반도체 소자 트랜지스터의 구조가 어떻게 변하고 있는지, 게이트 절연막(gate oxide)과 게이트 전극(gate electrode) 변화 양상에 관해서 간단하게 포스팅하도록 하겠습니다 !트랜지스터 구조 변화고집적화 반도체를 위한 미세 공정으로 발전하면서, 트랜지스터 크기가 작아지는 것은 당연한 일이에요이에 따라서 이러한 작은 트랜지스터를 정밀하게 제어하는 것 또한 중요한 문제로 생각할 필요가 있어요따라서 트랜지스터의 구조는 변화하게 됩니다2D Planar 트랜지스터 구조게이트와 채널이 한 면에서만 만나는 평면(2D)구조입니다이러한 구조의 트랜지스터는 미세 공정.......


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